Катодын нум нь титан нитрид, циркониум нитрид эсвэл мөнгө зэрэг материалыг ууршуулахын тулд нумын цэнэгийг ашигладаг PVD арга юм.Ууршсан материал нь вакуум камер дахь эд ангиудыг бүрхдэг.
Вакуум бүрхүүлийн төрлүүд - Атомын давхаргын хуримтлал
Atomic Layer Deposition (ALD) нь цахиурын бүрээс болон нарийн төвөгтэй хэмжээс бүхий эмнэлгийн төхөөрөмжүүдэд тохиромжтой.Тасалгаанд байгаа химийн бодисуудыг ээлжлэн солих замаар бүрхүүлийн хими, зузааныг атомын нарийвчлалтайгаар хянах боломжтой.Энэ нь маш нарийн төвөгтэй хэмжээс бүхий хэсгүүдэд ч гэсэн хамгийн бүрэн гүйцэд бүрэх төрлүүдийн нэгийг санал болгодог гэсэн үг юм.
Шуудангийн цаг: 2022-06-01